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氣體管道安裝對材質選用有什么要求
來源: | 作者:工業氣體安裝 | 發布時間: 2023-12-06 | 14 次瀏覽 | 分享到:

高純度氣體管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU),為了達到儀器對氣體的質量要求,在氣體出口指標一定的情況下,則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。下面固安特工業氣體安裝就來為大家進行介紹。

對輸送高純氣體管道而言,其影響氣體質量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。

氣體滲透性

不同材料對氧的滲透性材料大氣中氧氣的滲透(ppm)不銹鋼管 O銅管 O聚丙烯管 1l聚四氟乙烯管 12普通鋼管 203 從表看到,對于輸送ppm級及更高純度要求的氣體,從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管,如果我們不恰當地選用了不符合要求的管道材料,那么,無論我們采取什么凈化手段,都將是無濟于事的。

出氣速率

材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內部存在著某些雜質,如氮、碳氫化合物等,在高純氣體輸送過程中,這些雜質會緩慢地釋放出來,污染高純氣體,尤其是雜質要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。

吸附性

由于水分等雜質是極性分子,吸附性很強。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質,銅材對水吸附性極強,使用這些材料輸送高純氣體易被污染,除了輸送ppm級以下的氧氣會使用紫銅管外,高純氣體都不采用銅管和塑料管,氣體會接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。

表面粗糙度和耐磨性

為了確保輸送的氣體純凈度,要求管道材料內表面有一個極高的光潔度,這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留,可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速沖刷下,產生的金屬粒子就少,不銹鋼比銅管產生粒子要少,所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。

抗腐蝕性

微電子生產中,經常使用一些腐蝕性很強的氣體,這時必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會被腐蝕,輕則表面產生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體,還會發生安全事故。


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